“人類歷史上只出現了兩次工業革命，第一次是機械化時代，第二次是數碼智能時代，當前處于第二次工業革命的高潮，‘超人時代’即將到來”“這是一個全球化的產業，關起門發展是不行的”“越是產業下行期越要加大投資”……8月9日至11日，第十一屆中國電子專用設備工業協會半導體設備年會暨產業鏈合作論壇在無錫召開，多家半導體上市公司掌門人就半導體產業的發展各抒己見。

　　多位嘉賓表示，智能化時代，半導體是核心基礎，半導體制造對設備的需求，催化了以微觀加工為核心的微器件工業，即半導體設備產業。中國已成為全球半導體產業最大市場，但設備和耗材短板明顯，也意味著成長空間極大。中微公司、拓荊科技、富創精密、凱世通(萬業企業子公司)等多家半導體公司掌門人紛紛表示，將直面挑戰、搶抓機遇。

　　微觀加工前景廣闊

　　中微公司董事長兼CEO尹志堯在主題演講中，重新定義了工業革命。尹志堯劃分工業革命的理論是：工業就是“制造東西”，只有在制造的方式上有根本的變化，才能稱之為工業革命。在某個時期開發出有偉大變革性的重要產品，并不能稱為工業革命。

　　尹志堯認為，第一次工業革命是機械化時代，以機械代替人手，催生了宏觀加工為核心的傳統工業。第二次工業革命是數碼智能時代，以電腦替代人腦，以微觀器件代替人的各種感官，催生了以微觀加工為核心的微器件工業。

　　“當前處于第二次工業革命的高潮，到2035年數碼產業的產值將超過全球企業總產值的50%。”尹志堯表示，在數碼智能時代，半導體微觀加工設備是數碼產業的基石，又是先行者和制高點。

　　微觀材料包括化學薄膜、物理薄膜、單晶EPI(外延)等，微觀加工工藝則包括光刻、等離子體刻蝕、CMP(化學機械拋光)等，由此誕生了薄膜設備、外延設備、光刻機、等離子體刻蝕機、CMP等一系列的半導體微觀加工設備。

　　“國內晶圓廠投資加大，半導體設備、材料及零部件等供應鏈環節重要性凸顯。”華潤微執行董事、總裁李虹表示，2022年全球半導體產業銷售額5741億美元，中國半導體產業達到1855億美元，占比約32%。中國已成為全球半導體產業最大市場，但設備和耗材短板明顯，也意味著成長空間極大。

　　“我們也能做好微觀器件加工工業。”尹志堯強調。他給出的數據顯示，CCP等離子體刻蝕機、ICP等離子體刻蝕機、PECVD設備、LPCVD設備、ALD設備、PVD設備、CMP設備、ECP設備、光學檢測設備、電子束檢測設備、MOCVD等11類半導體設備，都是由中國留學生領銜或作為骨干開發出來的。

　　“今后50年到100年，人類將進入第三次工業革命‘超人時代’。”尹志堯認為，從智能化時代到“超人時代”，以超人代替人，將催生生命科學/數據技術集成的電生工業。

　　挑戰與機遇并存

　　“創新驅動、技術演進、應用牽引。”復盤半導體產業發展的驅動力，華潤微執行董事、總裁李虹表示，自1994年起，全球半導體市場銷售額跌宕起伏，但大趨勢就是一路向上，預計到2030年將突破萬億美元規模。

　　李虹認為，全球半導體產業從2022年第二季度開始出現環比下降，今年第二季度出現了環比提升的跡象;預計本輪產業周期正處于探底階段，結合需求復蘇、庫存消化節奏等因素觀察，產業有望于今年第四季度實現環比增長。

　　隨著新一輪產業周期景氣向上，半導體設備材料零部件將迎來更大的市場規模，也面臨新的挑戰。

　　中國電子專用設備工業協會副秘書長，華大半導體有限公司、上海積塔半導體有限公司董事、總工程師李晉湘介紹，當前，本土設備進入大生產線還存在以下瓶頸：一是設備無法提供，處于空白，如光刻、量測、失效分析等設備;二是已有設備，但不滿足特殊工藝要求，如特殊材料生長和去除等設備;第三，設備和工藝都可以提供，但關鍵工藝成熟度不夠，影響晶圓廠良率。

　　在當天同步舉行的2023半導體制造技術與設備材料董事長論壇上，多家上市半導體設備公司董事長表示，將搶抓機遇，加快發展。

　　“這是一個全球化的產業，關起門發展是不行的。”拓荊科技董事長呂光泉強調，半導體設備產業一定要開放、合作。注意到后摩爾時代的Chiplet等新工藝需求，拓荊科技已經研制了兩款混合鍵合設備，包括晶圓對晶圓鍵合產品和芯片對晶圓鍵合表面預處理產品，主要應用于晶圓級三維集成領域。

　　作為國產半導體設備零部件平臺型公司，富創精密董事長鄭廣文強調，越是產業下行期越要加大投資，加快招募優秀人才。面對挑戰，凱世通董事長李勇軍則表示，要活下去、活得好，就必須加大創新。

　　李虹表態，華潤微充分發揮IDM商業模式垂直一體化優勢，積極支持本土設備、材料的驗證，牽引產業鏈上下游發展。